[發明專利]光源裝置、照明裝置、曝光裝置和裝置制造方法有效
| 申請號： | 201510484698.3 | 申請日： | 2015-08-04 |
| 公開（公告）號： | CN105334705B | 公開（公告）日： | 2018-06-19 |
| 發明（設計）人： | 川島春名 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 楊小明 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本發明涉及光源裝置、照明裝置、曝光裝置和裝置制造方法。提供一種光源裝置，該光源裝置包括：被配置為從具有預先確定的尺寸的發光區域發射光束的光源；和被配置為會聚光束而允許光束出射到外面的會聚器。發光區域具有旋轉對稱的發光強度分布。會聚器關于被定義為發光區域的旋轉對稱軸的光軸旋轉對稱、被設置為包圍發光區域、并且具有分別具有用于反射從發光區域發射的光束的反射表面的四個或更多個反射鏡。所述四個或更多個反射鏡包含反射表面為橢圓形的橢圓表面反射鏡和反射表面為球面的球面反射鏡。橢圓表面反射鏡和球面反射鏡沿所述光軸的方向被交替布置，并且，被一個球面反射鏡反射的光束進一步被跨著發光區域相對設置的一個橢圓表面反射鏡反射，而允許光束出射到外面。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 發光區域 光源裝置 反射鏡 球面反射鏡 反射表面 橢圓表面 曝光裝置 旋轉對稱 照明裝置 裝置制造 會聚器 出射 光軸 反射 發光強度分布 反射鏡反射 旋轉對稱軸 發射光束 會聚光束 交替布置 相對設置 預先確定 光源 配置 包圍 發射 | ||
【主權項】：
1.一種光源裝置，其特征在于包括：被配置為從發光區域發射光束的光源；和被配置為會聚光束而允許光束出射到外面的會聚器，其中，所述發光區域具有旋轉對稱的發光強度分布，會聚器包括四個或更多個反射鏡，所述四個或更多個反射鏡分別具有用于反射從所述發光區域發射的光束的反射表面，每個反射表面被形成為關于被定義為所述發光區域的旋轉對稱軸的光軸旋轉對稱，并且所述四個或更多個反射鏡被設置為圍繞光源，所述四個或更多個反射鏡包含反射表面為橢圓形的橢圓表面反射鏡和反射表面為球面的球面反射鏡，并且，橢圓表面反射鏡和球面反射鏡沿所述旋轉對稱軸的方向被交替布置，并且，被一個球面反射鏡反射的光束進一步被跨著所述發光區域相對設置的一個橢圓表面反射鏡反射，而允許光束出射到外面。
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- 2019-07-19 - 2019-11-01 - G03F7/20
- 本發明涉及集成電路生產設備技術領域，具體公開了一種光刻機的擋光板裝置，包括兩塊前擋光板，前擋光板上端前后兩側分別通過一第一滑塊與一第二滑塊和對應的一上導軌連接，上導軌內設有一滾珠絲杠，前擋光板下方對應設有兩塊后擋光板，且后擋光板下端左右兩側分別通過一第一滑塊與一第二滑塊和對應的一下導軌連接，下導軌內設有一滾珠絲杠。本發明通過上導軌內的滾珠絲杠來帶動前擋光板在水平方向進行左右移動，同時通過下導軌內的滾珠絲杠來帶動后擋光板在水平方向進行前后移動，進而通過后擋光板與前擋光板的配合使用來構成一個透光口，結構簡單，解決了現有的光刻機的擋光板裝置結構較為復雜且空間占用率較高的問題。
- 一種自動曝光機移載PCB夾板機構-201910657341.9
- 王華;陳志特;高劍 - 東莞科視自動化科技有限公司
- 2019-07-19 - 2019-11-01 - G03F7/20
- 本發明涉及一種自動曝光機移載PCB夾板機構，包括移栽架；所述移栽架上設有調節滑軌，所述調節滑軌上設有夾取支架，所述夾取支架上設有夾板機構；所述夾板機構包括安裝件，所述安裝件上設有驅動機構，所述驅動機構連接于L型卡勾一端，所述L型卡勾中部轉動連接有驅動件一端，所述驅動件的另一端轉動連接于所述安裝件。有益效果是：由步進電機驅動夾板機構移動到所需位置進行夾持PCB，不需要人工調整夾子的位置，產能得到大大的提高；夾板機構的位置是PCB的工藝邊，不會破壞PCB的油墨；夾持移載過程中，不存在掉板的可能；夾板機構機構通驅動機構的推力，轉化垂直夾緊力，將PCB進行夾緊。
- 曝光裝置、移動體裝置、平板顯示器的制造方法、及元件制造方法-201610289114.1
- 青木保夫 - 株式會社尼康
- 2011-09-05 - 2019-11-01 - G03F7/20
- 于基板載臺(PST)，在Y粗動載臺(23Y)移動于Y軸方向時，X粗動載臺(23X)、重量消除裝置(40)及X導件(102)與Y粗動載臺(23Y)一體移動于Y軸方向，在X粗動載臺(23X)于Y粗動載臺(23Y)上移動于X軸方向時，重量消除裝置(40)在X導件(102)上與X粗動載臺(23X)一體移動于X軸方向。由于X導件(102)是涵蓋重量消除裝置(40)于X軸方向的移動范圍延設于X軸方向，因此重量消除裝置(40)不受其位置限制，恒被X導件(102)支承。
- 一種穩壓曬版機-201920490424.9
- 崔娟 - 湖北工程職業學院
- 2019-04-12 - 2019-11-01 - G03F7/20
- 本實用新型公開了一種穩壓曬版機，包括機體，機體的頂部安裝有蓋板，蓋板與機體的兩側均設置有伸縮桿，機體的前端面設置有操作臺，操作臺的頂部設置有控制面板，蓋板的一端設置有把手，且把手位于操作臺的頂部，機體的一側設置有真空泵，機體的后端面設置有連接塊。本實用新型通過在機體的內部兩側燈管與電源的連接處設置穩壓二極管，使曬曬版機在一定程度上具有自動穩壓的性能，避免由于電壓過大造成機器損傷，影響工作效率，加強了安全性，由于燈管容易受到強光的腐蝕影響燈管的發光效率和使用壽命，在蓋板的頂部涂覆有抗紫外線涂料，充分的保護了燈管的抗輻射性，同時也起到了防塵的作用，還具有消音的功效。
- 光刻設備以及使用光刻設備制造器件的方法-201580036436.9
- G·L·加托比吉奧;E·H·E·C·尤梅倫;R·奧萊斯拉格斯;G·皮特塞;C·M·洛普斯;L·J·A·范博克霍溫 - ASML荷蘭有限公司
- 2015-06-01 - 2019-11-01 - G03F7/20
- 一種光刻設備包括用于將圖案化的輻射束投影到襯底上的投影系統以及被配置為將浸沒流體限制在投影系統和襯底的表面之間的局部區域中的流體限制結構。光刻設備被配置為具有這樣的空間：該空間在一側由投影系統和光刻設備的至少部分地包圍投影系統的最終元件的部件中的至少一個的表面界定以及在另一側由流體限制結構的表面界定。該設備被配置為使空間內的氣體的濕度最大化。
- 一種LED與復眼透鏡結合的照明組件-201920081950.X
- 霍錦充;江晟 - 東莞王氏港建機械有限公司
- 2019-01-17 - 2019-10-29 - G03F7/20
- 本實用新型公開了一種LED與復眼透鏡結合的照明組件，包括LED燈層和復眼透鏡層，LED燈層包括散熱面和光源面，復眼透鏡層位于光源面的前端；復眼透鏡層包括第一復眼透鏡層和第二復眼透鏡層；LED燈層還包括冷卻裝置，冷卻裝置與散熱面相接觸；冷卻裝置包括外殼、若干個冷卻水進水接口和若干個冷卻水出水接口；散熱面安裝在外殼內，光源面露出外殼，若干個冷卻水進水接口和若干個冷卻水出水接口均設置在外殼上。通過LED燈層與兩層復眼透鏡層結合組成均勻照明曝光的光學元件，以保證曝光機的均勻性，當其中一顆LED燈珠、多顆燈珠或者一組燈珠損壞時，都不會影響其均勻性，可以保持均勻性，使設備提高產品的質量和降低客戶報廢產品的風險。
- 印花機的曝光裝置-201920321387.9
- 王科 - 杭州易染數碼科技有限公司
- 2019-03-14 - 2019-10-29 - G03F7/20
- 本實用新型公開了一種印花機的曝光裝置，包括機架，所述機架的兩側對稱設有支架，支架之間設有滑軌，滑軌上設有滑塊；所述曝光機構包括固定在滑塊頂部的曝光組件所述滑塊上方設有頂蓋，頂蓋上嵌設有與鏡筒支座對應的透鏡，頂蓋在位于透鏡的外圍設有環形定位塊，環形定位塊內設有風腔，所述環形定位塊的內側壁上設有沿透鏡周邊分布的且與風腔連通的出風嘴，所述頂蓋的上部設有安裝腔，安裝腔內設有氣泵，空氣制冷組件以及灰塵過濾筒。本實用新型通過出風嘴在透鏡前形成風墻，來對曝光過程中產生的揮發性氣體進行隔離，有效避免了揮發性氣體在光學透鏡上形成霧化，確保了能夠長時間進行曝光工作，提高了曝光裝置的使用壽命。
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